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型号 |
WAT800 |
WAT1200 |
WAT1202 |
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加工尺寸 |
ø8 ’’/ ø6 ’’ |
ø 12’’/ ø 8’’ |
ø 12’’ |
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外形尺寸WxDxH mm |
500×890×450 |
600×1000×450 |
600×1000×450 |
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晶圆厚度 |
150-800um |
150-800um |
150-800um |
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设备重量 |
约70kg |
约80kg |
约80kg |
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膜类型 |
蓝膜或UV膜 |
蓝膜或UV膜 |
蓝膜或UV膜 |
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膜厚度 |
0.05-0.2mm |
0.05-0.2mm |
0.05-0.2mm |
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膜宽度 |
200-300mm |
200-400mm |
200-400mm |
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膜料外径 |
≤160mm |
≤160mm |
≤160mm |
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真空吸附装置 |
标配 |
标配 |
标配 |
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工作台 |
防静电铁氟龙处理 |
防静电铁氟龙处理 |
防静电铁氟龙处理 |
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气源 |
AC220V/10A |
AC220V/10A |
AC220V/10A |
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加热功能 |
具备 |
具备 |
具备 |
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加热温度 |
常温-150℃ |
常温-150℃ |
常温-150℃ |
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真空功能 |
具备 |
具备 |
不具备 |
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张力功能 |
具备 |
具备 |
不具备 |
